연구 성과
-
출원번호
제10-2016-0086629호
발명의 명칭
지르코늄 박막 형성용 전구체 조성물 및 이를 이용한 지르코늄 박막의 형성 방법
-
출원번호
제10-2019-0051291호
발명의 명칭
신규한 실리콘 전구체 화합물 및 이를 이용한실리콘 함유 박막의 제조방법
출원번호
제10-2019-0124471호
발명의 명칭
알킬아미노실란 화합물의 제조방법
-
출원번호
제10-2017-0047394호
발명의 명칭
신규한 텅스텐 전구체 화합물 및 이를 이용한 박막 형성 방법
출원번호
제10-2016-0148313호
발명의 명칭
탄탈륨 박막 형성용 전구체 화합물 및 이를 이용한 탄탈륨 박막의 형성방법
